NX1000 工業檢測顯微鏡系列
NX1000 工業檢測顯微鏡專為工業、電子、儀器行業等超大面積樣本觀察設計。技術參數：光學系統無限遠光學系統目鏡EW10X(22)觀察鏡筒·雙目觀察鏡筒·三目觀察鏡筒·可傾角三目觀察鏡筒·正像可傾三目觀察鏡筒轉換器六孔物鏡轉換器（帶 DIC 插槽）物鏡半復消色差 / 復消色差物鏡平臺14寸X12寸超大平臺，內置離合器，行程：356X305mm 可用于300mm晶圓聚光鏡長距透射用聚光鏡光源反射光源
NX1000 工業檢測顯微鏡專為工業、電子、儀器行業等超大面積樣本觀察設計。
技術參數：
光學系統 | 無限遠光學系統 |
目鏡 | EW10X(22) |
觀察鏡筒 | ·雙目觀察鏡筒·三目觀察鏡筒·可傾角三目觀察鏡筒·正像可傾三目觀察鏡筒 |
轉換器 | 六孔物鏡轉換器（帶 DIC 插槽） |
物鏡 | 半復消色差 / 復消色差物鏡 |
平臺 | 14寸X12寸超大平臺，內置離合器，行程：356X305mm 可用于300mm晶圓 |
聚光鏡 | 長距透射用聚光鏡 |
光源 | 反射光源 10V/100W 鹵素燈，科勒照明 |
| 透射光源 LED-40A 冷光源 | |
擴展性 | 明場、暗場、偏光、落射 DIC、熒光 |
產品特點:
NX1000系列工業檢測顯微鏡采用經過多年研究和不斷改良的 NIS 無限遠光學系統，具有工作距離長，色差矯正能力強，成像銳利等的光學品質。大面積觀察需要更大的操作平臺，NX1000 系列顯微鏡采用 12 寸超大載物臺，滿足FPD及LSI的檢測。加入離合器平臺手柄及物鏡轉換等人性化部件，極大的降低了長時間顯微操作帶來的疲勞。
